能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法

摘要

本发明提供了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，属于单晶硅生产技术领域。该方法以设定温度进入收尾，收尾初期埚升继续按埚跟比计算设定，待收尾完成，获取第一收尾晶棒，在第一收尾晶棒的尾部部分等分划线，并获取第一收尾坐标谱图，将第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上，根据收尾快或慢的趋势调整温度和拉速，如此重复几次，即可调整出完全无需人员干预的收尾工艺。明显提高了收尾成功率，且收尾过程不需人员干预，减少人员操作强度。更为重要的是，使用该方法获取的参数数据克服了外在因素的影响，对同批次的单晶硅棒收尾效果更佳，同时，得到的单晶硅棒尾部平滑过度，形状规整，应力降低，不易损坏。