回流炉及回流时防止基板变形的方法

摘要

本申请提供一种回流炉及回流时防止基板变形的方法，该方法包括如下步骤：在基板的上方流动有第一吹风，基板的下方流动有第二吹风，第二吹风的流速大于第一吹风的流速。本申请提供的回流炉及回流时防止基板变形的方法，通过在基板的上方流动有第一吹风，基板的下方流动有第二吹风，第二吹风的流速大于第一吹风的流速，使得基板上方的压力大于基板下方的压力，进而在回流时会对基板存在一个向下的压力，实现对基板的全面压制以防止基板变形。