测量微机械单振子三轴陀螺仪的三轴角速度的方法

摘要

本发明公开了一种测量微机械单振子三轴陀螺仪的三轴角速度的方法，对单振子三轴陀螺仪的两驱动轴振动振幅锁定、定频驱动且频率不同，在z轴产生的检测量经过两个频率信号同相解调可以得到xy轴角速度，z轴角速度会在两驱动轴上产生响应，对驱动轴谐振器输出信号进行解调滤波可以z轴角速度，最终实现单振子三轴角速度测量。本发明采用的测量方法，可以提高结构紧凑、体积小的陀螺仪的检测精度。