减少单颗化半导体片芯中残余污染物的方法

摘要

本发明涉及减少单颗化半导体片芯中残余污染物的方法。在一个实施例中，通过将半导体晶片放置到承载带上、形成穿过半导体晶片的单颗化道以及减少半导体晶片上残余污染物的存在，从半导体晶片单颗化半导体片芯。