法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-12
授权
授权
2018-03-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C9/00 申请日:20170719
实质审查的生效
2018-02-13
公开
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机译: 一种用于计算目标表面的倾斜角度使用交叉形激光图像计算目标表面的方法,该方法使用该方法和裂纹研究装置计算目标表面的倾斜角度
机译: 晶圆检测系统中动态聚焦,定角和斜向倾斜激光照明的生产和测量方法和装置
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