低露点干燥室用低温再生干燥除湿系统

摘要

本发明提供利用了热泵的除湿装置，即使再生温度低至50度，也能够供给低露点的空气。本发明具有第一除湿转轮和第二除湿转轮，将外部气体由第一冷却器进行冷却除湿之后，使其经过第一除湿转轮的吸附区域，使经过了第一除湿转轮的吸附区域的空气，经过第二冷却器和第二除湿转轮的吸附区域，并作为供给空气供给至干燥室；将来自干燥室的回风空气与经过了第一除湿转轮的吸附区域的空气混合，将经过了第二除湿转轮的吸附区域的空气的一部分分流，由第二加热器加热，并使其经过第二除湿转轮的再生区域，将经过了第二除湿转轮的再生区域的空气，由第三加热器加热，并使其经过第一除湿转轮的再生区域。