一种ZnO/PdO复合表面传导电子发射膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种ZnO/PdO复合表面传导电子发射膜及其制备方法，发射膜包括PdO膜层，PdO膜层上设置有ZnO籽晶层，ZnO籽晶层上生长有方向能够调控的ZnO纳米线层，ZnO纳米线层经过电形成过程能够产生具有许多发射尖端的纳米裂缝，使纳米裂缝处的电场增强。制备方法包括以下步骤：1)通过射频反应磁控溅射法在经过抛光处理的Si基片上沉积PdO膜层；2)通过射频反应磁控溅射法在沉积有PdO膜层的Si基片上沉积ZnO籽晶层；3)通过低温水浴法在ZnO籽晶层上按照电子发射方向生长ZnO纳米线。本发明能够有效提高发射效率，提升器件的显示质量及寿命，降低功耗和成本。