一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法

摘要

本发明公开了一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法，属于微操作机器人技术领域。一种压电驱动的超精密运动六足机器人，包括底座、六个驱动单元和基体，其中，每个驱动单元包括驱动足、纵向伸缩压电陶瓷区域和横向弯曲压电陶瓷区域，横向弯曲压电陶瓷区域、纵向伸缩压电陶瓷区域和底座由上至下依次连接，六个驱动单元沿圆周方向均匀安装在基体的下表面上，驱动足压紧在底座的上表面。本发明负载能力大、结构紧凑，针对不同的应用条件可以进行灵活设计，便于生产制造，激励方法可靠易行，可以实现多自由度的超精密运动，在微纳操作等技术领域中具有广泛的应用前景。