公开/公告号CN107302171B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十一研究所;
申请/专利号CN201710400450.3
申请日2017-05-31
分类号
代理机构工业和信息化部电子专利中心;
代理人于金平
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
入库时间 2022-08-23 10:56:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-24
授权
授权
2017-11-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/042 申请日:20170531
实质审查的生效
2017-11-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/042 申请日:20170531
实质审查的生效
2017-10-27
公开
公开
2017-10-27
公开
公开
2017-10-27
公开
公开
查看全部
机译: 宽激光光束的DEVICE波前测量
机译: 一种光波前操纵器,具有这种光波前操纵器的投影透镜系统和具有这种投影物镜的微光刻设备
机译: 折射率分布测量方法,装置及其光学元件的制造方法,使用浸没在至少一种折射率与测试对象的折射率不同的介质中的测试对象的多个透射波前和参考的多个参考透射波前具有已知形状和折射率分布的物体