使用宽带反射测定法的工艺终点检测方法

摘要

一种在图样化衬底的处理过程中确定感兴趣的参数的方法，该方法包括：获得测量的净反射光谱，该反射光谱通过用具有宽带光谱的光束照射图样化衬底的至少一部分产生；计算建模的净反射光谱，作为构成图样化衬底的部分的不同区域的反射系数的加权非相干和；以及，确定一组参数，该组参数提供在测量的净反射光谱和建模的净反射光谱之间的紧密匹配。对于在选择的转换波长以下的波长，第一光学模型用于计算每个区域的反射率，作为对应于构成该区域的横向不同区的薄膜叠层的反射场。对于在选择的转换波长以上的波长，基于有效介质近似的第二光学模型用于计算每个区域的反射率。