公开/公告号CN100595899C
专利类型发明授权
公开/公告日2010-03-24
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200810000091.3
发明设计人 维贾雅库马尔·C·韦努戈帕尔;
申请日2003-08-12
分类号H01L21/66(20060101);G01B11/06(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚;尚志峰
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:04:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-03-24
授权
授权
2008-09-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-07-16
公开
公开
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