具有改进的灵敏度的MEMS麦克风

摘要

提供了具有改进的灵敏度（例如降低的灵敏度的温度依赖性）的MEMS麦克风。麦克风包括MEMS电容器、充电电路和偏置电路。偏置电路包括闭环控制电路并且创建具有温度依赖性的电压。