基于弧形源场板和弧形漏场板的垂直型功率器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于弧形源场板和弧形漏场板的垂直型功率器件，其自下而上包括：肖特基漏极(11)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个二级阶梯结构的电流阻挡层(4)、孔径(5)、沟道层(6)、势垒层(7)与栅极(10)，势垒层上的两侧淀积有两个源极(9)，源极下方注入有两个注入区(8)，除肖特基漏极底部以外的所有区域包裹有钝化层(12)，钝化层左右两边的上部和下部分别刻有弧形台阶，弧形台阶上淀积有金属，形成弧形源场板(13)和弧形漏场板(14)，弧形源场板、弧形漏场板、肖特基漏极和钝化层均覆盖有保护层(15)，本发明双向击穿电压高、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。