法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-10
授权
授权
2019-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):B66C1/18 申请日:20181121
实质审查的生效
2019-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):B66C 1/18 申请日:20181121
实质审查的生效
2019-04-19
公开
公开
2019-04-19
公开
公开
2019-04-19
公开
公开
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机译: 工艺模拟方法,半导体器件制造方法和工艺模拟器
机译: 工艺模拟器及工艺模拟方法
机译: 工艺模拟器及工艺模拟方法