一种复杂光学曲面几何参量的精确测试装置及方法

摘要

一种复杂光学曲面几何参量的精确测试装置及方法，适用于所有大口径复杂光学曲面立式干涉检验折转光路几何参量精确测试，包括激光跟踪仪(1)、激光干涉仪(2)、折转镜(3)、补偿元件(4)、调整机构(6)；激光干涉仪(2)、折转镜(3)、补偿元件(4)、待测光学曲面(5)、调整机构(6)之间的位置和角度可调；激光跟踪仪(1)的靶标球放置在干涉仪焦点(F)附近。主要通过测量干涉仪焦点、复杂曲面所有基准面特征及折转镜特征，通过镜像、投影等几何运算实现对大口径复杂光学曲面的顶点曲率半径R、离轴量d及偏心Δ等几何参量的精确测试，数据处理及运算、操作过程较简单，测试成本低、通用性好。