电介质阻挡放电离子化检测器

摘要

提供能够实现高SN比的氩气‑BID。在电介质阻挡放电离子化检测器中具有：电介质圆筒管(111)；高压电极(112)，围绕设置于电介质圆筒管(111)的外壁并连接于交流电源；上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)，围绕设置于高压电极(112)，通过在放电部(110)内的放电而从包含氩气的气体生成等离子体，通过等离子体的作用，使被供给至电荷收集部(120)的试料气体中的成分离子化，检测该离子化后成分的离子电流，在电介质圆筒管(111)的内周面形成半导体膜(117)，并且使上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)的长度分别比高压电极(112)与管路前端部件(116)之间以及高压电极(112)与电荷收集部(120)之间的沿面放电的开始距离长。