光学超晶格极化质量测量方法及装置

摘要

本申请公开了一种光学超晶格极化质量测量方法，包括如下步骤：用激光器发射一束激光照射超晶格样品，获得该束激光的多级衍射图样；测量所述多级衍射图样的衍射光强，并获得相应的衍射级次；基于所述衍射级次及该衍射级次对应的衍射光强，得出所述超晶格样品在照射位置的占空比；基于所述占空比，得出反映所述照射位置的极化质量的有效非线性系数。该测量方法的设计能够使得极化质量的测量变得简单、测量装置不繁琐、测量精度高。此外，本申请还公开了一种光学超晶格极化质量测量装置。