母盘制造方法及装置、母盘的移动距离差检测方法及装置

摘要

本发明提供一种母盘制造方法，用保持曲率移动的水平移动装置来实现正确的母盘传送精度，包括：使光阻剂母盘(108)自转的工序；移动上述光阻剂母盘(108)的工序；读取与上述移动相伴的上述光阻剂母盘(108)的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对上述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随上述移动的上述光阻剂母盘(108)的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据上述检测结果，控制规定的制造参数的工序。