一种基于电润湿效应和液滴吸取的微透镜成形方法

摘要

本发明涉及微透镜制造技术，具体是一种基于电润湿效应和液滴吸取的微透镜成形方法。本发明解决了现有微透镜制造方法无法制造出数值孔径可控的微透镜的问题。一种基于电润湿效应和液滴吸取的微透镜成形方法，该方法是采用如下步骤实现的：S1：选取热氧化高掺杂硅晶圆；S2：形成第一纳米锥阵列结构；S3：制得聚二甲基硅氧烷压印模具；S4：形成第二纳米锥阵列结构；S5：涂覆特氟龙薄层；S6：施加光固化树脂液滴；S7：光固化树脂液滴在电场作用下变形成为液态透镜；S8：断开交流电源；S9：对液态透镜的数值孔径进行精确调控；S10：对液态透镜进行辐照；S11：将固态透镜剥离下来。本发明适用于微透镜的制造。