超小型质谱分析装置和超小型粒子加速装置

摘要

使谁都可以低成本、小型化地制作和使用加速器、质谱分析装置。包含第1主基板(301)、附着在第1主基板(301)上面的第1上部基板(302)、以及附着在第1主基板(301)的下面的第1下部基板(303)的多基板所组成的质谱分析装置(300)，质谱分析室(308)是，被形成在第1主基板(301)上，从第1主基板(301)的上面贯通至第1主基板(301)的下面的贯通室，与基板面垂直方向(Z方向)被上部基板(302)和第1下部基板(303)所围，与Z方向成直角方向，并且沿带电粒子(318)的行进方向(X方向)的两侧被第1主基板侧板(301‑4，301‑5)所围，与Z方向和X方向成直角方向(Y方向)的两侧面被第1主基板(301)所围，带电粒子(318)的入射的第1主基板侧板(301‑4)上开有中央孔(310‑4)，带电粒子(318)从前记的第1主基板侧板(301‑4)上形成的中央孔(310‑4)射入到质谱分析室(308)。