用于检验多色和轮廓图像的CAM(计算机辅助制造)参考

摘要

本发明公开了一种电路检验系统，它包括一个用于光学检验一个电路并提供一个指明了多于2个的不同类型区域的检验输出的光学子系统以及一个用于分析该检验输出的分析子系统，其中的分析包括把该检验输出与一个指明了多于2个的不同类型区域的计算机文件参考相比较。还公开了一种检验电路的方法。