法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
授权
授权
2017-07-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B13/04 申请日:20170421
实质审查的生效
2017-07-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 13/04 申请日:20170421
实质审查的生效
2017-06-23
公开
公开
2017-06-23
公开
公开
2017-06-23
公开
公开
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机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流