公开/公告号CN106125501B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 武汉华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201610712197.0
发明设计人 王轩;
申请日2016-08-24
分类号
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司;
代理人孙伟峰
地址 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
入库时间 2022-08-23 10:50:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-18
授权
授权
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/84 申请日:20160824
实质审查的生效
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/84 申请日:20160824
实质审查的生效
2016-11-16
公开
公开
2016-11-16
公开
公开
机译: 多色光掩膜,用于多色光掩膜的光掩膜和图案转移方法
机译: 反射性光掩膜,反射性光掩膜,反射性光掩膜检查装置及其检查方法
机译: 一种用于在衬底上预先修饰薄膜的主表面的光掩膜的制造方法以及一种光掩膜的制造方法