一种真空泵停止后再启动防卡死方法

摘要

本发明公开了一种真空泵停止后再启动防卡死方法，涉及太阳能电池制造技术领域，本发明包括以下步骤：对设备进行降温；打开预抽，将设备抽至真空状态；打开主抽，将设备内部压力抽至“0”；打开恒压氮气，对真空泵进行不间断吹扫；待设备降温后，关闭加热，关闭设备恒压氮气；点按一次“stop”真空泵，保持真空泵低速运行；在设备低速运行过程中检查每个泵是否有异响；2小时后再次点按“stop”真空泵，此时真空泵停止运行，关闭冷却水，关闭真空泵的吹扫氮气；关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；断电后对真空泵进行手动盘泵检查确认真空泵是否有卡滞情况。本发明具有防止真空泵复机卡死的特点。