一种在水溶液中制备无机磷酸盐薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种基于层状吸附—反应技术在水溶液中制备磷酸钛等无机薄膜的方法。首先将表面带有氨基、羧基或羟基的基底浸入金属离子的溶胶A中0.5～5分钟，然后浸入前驱体磷酸盐溶液B1中3～30秒钟，洗去表面物理吸附多余的溶胶，再浸入与磷酸盐溶液B1完全相同的溶液B2中0.5～5分钟，使基底表面吸附的溶胶A与前驱体磷酸盐溶液B2完全反应；再水洗除去基底表面物理吸附的前驱体磷酸盐及少量不溶物后经N₂吹干完成一个薄膜沉积周期，重复上述步骤即得到无机磷酸盐的多层膜。本发明所制备的这类薄膜在光电器件的制备，抗紫外线、耐磨、耐高温涂层，以及催化、离子交换、抗腐蚀、抗菌、自清洁等材料的制备中预期有很高的应用价值。