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获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统

摘要

本发明公开了一种获取压力规的误差值的方法和装置、压力控制方法和系统,该方法包括以下步骤:1)通过硬件调节的方法使得压力规的输出值比实际值大于m;2)检测压力规的零漂移值;3)比较(零漂移值-m)的绝对值与预设的零漂移阈值的大小,若(零漂移值-m)的绝对值≤预设的零漂移阈值,则进行步骤4);4)获取压力规的误差值,其中:误差值=零漂移值-m。上述方法不仅能解决压力规的规正漂问题,还能解决规负漂问题,获取到压力规的误差值。无论压力规有规正漂问题、规负漂问题,本发明中的获取压力规的误差值的装置的控制器均能指示误差值模块获取所述压力规的误差值,减少了压力规硬件调零的次数,减少了维护成本,延长使用寿命。

著录项

  • 公开/公告号CN107543654B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-02-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201610478719.5

  • 发明设计人 马平;

    申请日2016-06-27

  • 分类号

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人彭瑞欣

  • 地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

  • 入库时间 2022-08-23 10:50:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-11

    授权

    授权

  • 2018-01-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L27/00 申请日:20160627

    实质审查的生效

  • 2018-01-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 27/00 申请日:20160627

    实质审查的生效

  • 2018-01-05

    公开

    公开

  • 2018-01-05

    公开

    公开

  • 2018-01-05

    公开

    公开

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