公开/公告号CN107543654B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201610478719.5
发明设计人 马平;
申请日2016-06-27
分类号
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 10:50:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
授权
授权
2018-01-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L27/00 申请日:20160627
实质审查的生效
2018-01-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 27/00 申请日:20160627
实质审查的生效
2018-01-05
公开
公开
2018-01-05
公开
公开
2018-01-05
公开
公开
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