基于单缝衍射原理利用CCD测量微小位移的方法

摘要

一种基于单缝衍射原理利用CCD测量微小位移的方法，通过两条平行单缝，一条为定标狭缝(缝宽已知)，另一条为测量狭缝(缝宽可变)，两条单缝分别衍射，两条狭缝得到的不同衍射图像会由凸透镜汇聚到透镜的焦平面上，然后由CCD器件进行采集。图像传输到软件中进行下一步的分析计算，最后计算出缝宽的变换，也就是微小位移量。操作方便，实现自动化测量，同时利用衍射系统测量位移，其测量精度高，在测量中实现了自动化、智能化、高精度的测量微小位移量。