薄板状工件的制造方法以及双头平面磨削装置

摘要

本发明提供一种薄板状工件的制造方法和双头平面磨削装置，根据本发明，不论作业员的熟练度高低，都能可靠地进行为了高精度地磨削薄板状工件而所需的预先调整。该制造方法具备：使用双头平面磨削装置，边使在一对静压垫之间被静压支承着的薄板状的工件旋转，边利用一对磨削磨具来磨削工件的两面的磨削步骤；在进行磨削步骤之前对双头平面磨削装置进行调整的预先调整步骤。在预先调整步骤中，在第一状态(边对调整用工件进行静压支承，边利用磨削磨具夹持调整用工件)、第二状态(不对调整用工件进行静压支承，只利用磨削磨具来夹持调整用工件)下取得调整用工件与静压垫之间的距离，并根据在这两状态下的距离之间的变化来调整双头平面磨削装置。