公开/公告号CN107195707B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 东华大学;
申请/专利号CN201710409796.X
申请日2017-06-02
分类号H01L31/0256(20060101);H01L31/028(20060101);H01L31/0328(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构31233 上海泰能知识产权代理事务所;
代理人黄志达
地址 201620 上海市松江区松江新城人民北路2999号
入库时间 2022-08-23 10:48:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-14
授权
授权
2017-10-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0256 申请日:20170602
实质审查的生效
2017-10-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0256 申请日:20170602
实质审查的生效
2017-09-22
公开
公开
2017-09-22
公开
公开
2017-09-22
公开
公开
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