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一种团簇束流实验装置及纳米团簇的制备方法

摘要

一种团簇束流实验装置及纳米团簇的制备方法,其主要涉及材料制备设备领域。其中,团簇束流实验装置包括团簇束流产生室、差分输运室、在线催化测量室、团簇质量选择器以及高真空团簇沉积室。通过将团簇束流产生室、差分输运室、在线催化测量室以及团簇质量选择器依次密封连接、将第一沉积室和第二沉积室分别与在线催化测量室和团簇质量选择器密封连接,使得纳米团簇产生、团簇质量选择、团簇沉积、在线催化能够集成一体化,从而使得操作人员能够根据自己实际需要的纳米团簇要求制备自己所需的纳米团簇,并能对团簇的催化性能进行在线测量。采用上述团簇束流实验装置进行纳米团簇的制备,大大降低了制取纳米团簇的时长,同时提高了所得纳米团簇的质量稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN106637114B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 盐城工学院;

    申请/专利号CN201611154289.8

  • 申请日2016-12-14

  • 分类号

  • 代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李佳

  • 地址 224000 江苏省盐城市世纪大道1166号研创大厦

  • 入库时间 2022-08-23 10:48:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-10

    授权

    授权

  • 2017-06-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20161214

    实质审查的生效

  • 2017-06-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20161214

    实质审查的生效

  • 2017-05-10

    公开

    公开

  • 2017-05-10

    公开

    公开

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