公开/公告号CN106030755B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-03
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580003949.X
申请日2015-02-19
分类号H01L21/02(20060101);H05H1/46(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:48:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
授权
授权
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150219
实质审查的生效
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20150219
实质审查的生效
2016-10-12
公开
公开
2016-10-12
公开
公开
机译: 含有重原子的化合物的等离子体
机译: 含有重原子的化合物的等离子体
机译: 等离子体处理含重原子的化合物