多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法

摘要

本发明公开了一种多自由度压电粘滑微纳定位平台及其驱动方法，以解决现有多自由度运动平台存在的运动行程小、精度低、控制复杂等技术问题。该多自由度压电粘滑微纳定位平台由x向驱动组件、y向驱动组件、θ_z旋转组件、上壳和连接螺钉三组成；本发明通过压电叠堆的伸缩变形致使位移转换机构产生斜向力，进而驱动动子运动；当压电叠堆伸长时，可增大动、定子间的摩擦驱动力；当压电叠堆缩短时，可减小动、定子间的摩擦阻力。本发明具有大行程、高精度和控制简便的优点，在空间机构、生命科学、光学精密仪器和超精加工等高端技术领域具有广泛的应用前景。