一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置

摘要

本发明涉及一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置，用以解决激光加工过程中，由于激光装备的长时间工作，激光器出射光束指向偏移、振镜温漂及时漂等原因造成激光光束在加工终端产生指向偏移从而影响被加工图形位置精度的问题。根据光程共轭原理对激光光束终端指向的检测与校正装置的空间位置进行布局以及标定，使得其视野内的光斑位置偏移量与实际激光加工光斑位置的偏移量相等，从而可以通过检测装置的光斑位置表征激光加工表面的光斑偏移情况；可广泛应用于我国航空航天、汽车、3C、光电子、模具等领域的激光精细表面制造、制孔、精细切割方面。