一种圆形低刚度工件的平行度及平面度测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种圆形低刚度工件的平行度及平面度测量装置及方法，所述的装置包括隔振平台、气体静压轴承单元、摆臂单元、气体通道座单元和数据处理单元，所述气体静压轴承单元和气体通道座单元并列固定在隔振平台上，所述摆臂单元通过定位孔与气体静压轴承单元连接。本发明采用多通道通气使工件在测量时处于悬浮状态，避免使用专用或通用夹具对工件进行夹持，采用距离传感器进行非接触式测量，减轻低刚度工件由于变形给测量结果造成的影响。使用气体静压主轴带动摆臂进行测量的运动方式，运动过程平稳，重复旋转定位精度可达0.1度内。由于本发明使用气体悬浮方式进行定位，所以可对圆形低刚度非导磁材料工件进行平面度及平行度进行测量。