共轴调节装置及使用该装置的共轴调节方法

摘要

本发明涉及半导体生产和加工领域。本发明提供了一种共轴调节装置，用于在半导体设备中对晶圆固定盘和喷头进行共轴调节，该共轴调节装置包括晶圆固定盘、定位板、定位座、喷头以及激光器件；其中的晶圆固定盘能够在竖直方向上升或下降，并在水平方向沿着X轴、Y轴平移，晶圆固定盘上开有定位孔，用于安装定位板；定位板的下方设置有遮挡物，该遮挡物上开有至少两条狭缝，两条狭缝的相交线在晶圆固定盘的中心轴Z上；其中的喷头开有安装孔，定位座通过安装孔和定位柱安装于喷头，定位座上搭载有激光器件的发射部和接收部。