法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-11-06
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01R 31/26 授权公告日:19990421 期满终止日期:20130731 申请日:19930731
专利权的终止
1999-04-21
授权
授权
1995-09-06
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1994-03-16
公开
公开
机译: 用于半导体晶片老化测试的半导体晶片和老化板的老化和测试方法
机译: 半导体承载托盘,老化板,老化测试方法以及使用该半导体承载托盘的半导体制造方法
机译: 半导体承载托盘,老化板,老化测试方法以及使用该半导体承载托盘的半导体制造方法