用于等离子体反应器中的射频去耦和偏压控制的设备和方法

摘要

提供了一种用于在宽范围内控制偏压和用于对双射频电流进行去耦以允许独立地控制用于处理基板的等离子体的等离子体密度和离子能量的方法和设备。示例性的设备提供了等离子体处理室，该等离子体处理室包括被配置得保持一基板的底部电极和连接于底部电极的第一和第二射频电源。还包括与顶部地线延伸部电隔离的顶部电极。包括限定一组滤波器装置的滤波器阵列。一开关耦合于顶部电极并且该开关被配置得将顶部电极互连到一个滤波器装置。滤波器装置被配置得允许或禁止由第一和第二射频电源的一个或两个所产生的射频电流流过顶部电极。