公开/公告号CN106876267B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所;
申请/专利号CN201510919650.0
申请日2015-12-11
分类号
代理机构中国航空专利中心;
代理人陆峰
地址 214063 江苏省无锡市梁溪路108号
入库时间 2022-08-23 10:45:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-17
授权
授权
2017-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/324 申请日:20151211
实质审查的生效
2017-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20151211
实质审查的生效
2017-06-20
公开
公开
2017-06-20
公开
公开
2017-06-20
公开
公开
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