一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法

摘要

一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法。一种铝钛钨合金靶材的制备方法，该铝钛钨靶材由以下原子百分比的原料制成：铝粉60％～70％，钛粉30～40％，钨粉1～10％。本发明还包括铝钛钨合金靶材的粉末热压烧结和真空热处理方法。本发明利用铝粉、钛粉的活性，在真空条件下与钨粉实现烧结成形，然后再在高温下真空长时间退火，利用铝原子和钛原子的均匀化扩散作用，实现和添加的元素钨之间的冶金结合，在温度和压力的共同作用下，该靶材致密度高，提高了粉末烧结的效果，简化了生产工艺，是一种短流程、易操作的靶材生产过程，有利于提高生产效率。