法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-10
授权
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2017-07-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F9/08 申请日:20170221
实质审查的生效
2017-07-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C02F 9/08 申请日:20170221
实质审查的生效
2017-06-13
公开
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2017-06-13
公开
公开
2017-06-13
公开
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机译: 真空紫外光极化元件,真空紫外光极化装置,真空紫外光极化方法和对准方法
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机译: 真空-紫外光的面罩,以及使用真空-紫外光制造图案形成的身体的方法和装置