法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-03
授权
授权
2018-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20171102
实质审查的生效
2018-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/06 申请日:20171102
实质审查的生效
2018-01-12
公开
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2018-01-12
公开
公开
2018-01-12
公开
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机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法
机译: 高纯锆或HA,溅射由高纯锆或AND和使用该靶制成的薄膜的靶,以及高纯锆或HA的生产方法以及高纯锆或HA的粉体的制备方法