脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的系统和方法

摘要

本发明公开了一种脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的系统和方法，属于激光应用及印刷电子技术领域，该系统包括：激光光源、光路调节系统和二维精密移动系统，激光光源与光路调节系统相连接，二维精密移动系统位于光路调节系统的下面；激光光源为脉冲激光器；光路调节系统包括准直扩束透镜组，与之相连接的分光元件，分光元件呈90度分别与两个反射镜相连接，两个反射镜分别与合束镜相连接，合束镜通过聚焦透镜与物镜相连接；二维精密移动系统包括电动平台、运动控制器和计算机，计算机通过运动控制器和电动平台相连接，电动平台用于放置初始基片和接收基片。本发明可实现快速、高精度、大幅面的图案化转移，大大降低制造成本和制造周期。