一种高探测效率、低噪声微通道板及其制备方法

摘要

本发明是关于一种高探测效率、低噪声微通道板及其制备方法。其中，所述的微通道板包括，石英玻璃微孔阵列、输入电极、输出电极和防离子反馈膜，其中，所述的石英玻璃微孔阵列的孔壁上依次沉积有导电层和发射层；所述的防离子反馈膜位于输入电极一侧，所述的防离子反馈膜为石墨烯膜。本发明以石墨烯膜层作为防离子反馈膜，其中，石墨烯膜层可做到埃米级，在防止离子反馈现象的同时，提高微通道板的探测效率，同时，提高了微通道板的增益性能。