公开/公告号CN107002223B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480083861.9
申请日2014-12-05
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:43:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
授权
授权
2017-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20141205
实质审查的生效
2017-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20141205
实质审查的生效
2017-08-01
公开
公开
2017-08-01
公开
公开
2017-08-01
公开
公开
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机译: 连续熔化和蒸发固体材料的系统和方法,气相沉积涂层系统,连续送入电极,电弧放电设备。通过气相沉积涂层产生电弧放电以电离气相涂层的方法。通过汽相沉积测量涂层系统中蒸发器的电离度和蒸发速率,并去除附着在真空镀膜上的真空室中沉积的材料。
机译: 材料沉积系统和用于在材料沉积系统中沉积材料的方法
机译: 有机材料的蒸气沉积源,具有有机材料的装置具有蒸气沉积源,具有有机物质的蒸气沉积源(包括有机蒸气沉积源)的系统以及用于有机材料的蒸气沉积源的操作方法