一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法

摘要

本发明公布了一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法，采用反射式光控控制的镀膜机进行光学镀膜，所采用的镀膜机内嵌有检测、控制镀膜厚度的控制模块和用于向所述控制模块内输入运行参数的输入端口，所述运行参数按以下规则输入：如果peak<1；输入设备参数是：start，Stop Point；如果peak＝整数；输入设备参数是：start，peak；如果peak>1and单数；输入设备参数是：start，peak，ratio1；如果peak>1and双数；输入设备参数是：start，peak，ratio2；上述peak为光控光量曲线的波峰数，start为开始光量，Stop Point为镀膜厚度到达的点，ratio1和ratio2为光控入机数据用的比值。本方法可以得到较高精度的镀膜厚度。