公开/公告号CN106456994B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 皇家飞利浦有限公司;
申请/专利号CN201580034876.0
发明设计人 J·A·奥弗韦格;
申请日2015-06-19
分类号A61N5/10(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人刘兴鹏
地址 荷兰艾恩德霍芬
入库时间 2022-08-23 10:43:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
授权
授权
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):A61N5/10 申请日:20150619
实质审查的生效
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):A61N 5/10 申请日:20150619
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
查看全部
机译: 带电粒子束绘制设备,用于创建带电粒子束绘制数据的方法和程序,带电粒子束的拍摄数量计算程序,带电粒子束绘制设备的带电粒子束制造设备的近距离校正程序,带电粒子束绘制设备,雾状带电粒子束程序
机译: 带电粒子束控制器,使用该粒子束的带电粒子束光学装置,带电粒子束缺陷检查装置和带电粒子束的控制方法
机译: 用于带电粒子束装置的带电粒子源装置,用于样本检查的带电粒子束装置以及用于在带电粒子束中提供用于样本检查的主带电粒子束的方法