基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法

摘要

本发明公开的基于空间光调制器参考面的非球面干涉测量系统及方法，涉及一种用于测量非球面面形的干涉测量系统及方法，属于光电检测领域。本发明的测量系统包括激光器、准直物镜、分光镜、参考镜、补偿器、待测非球面、成像物镜、CCD探测器。使用SLM作为非球面干涉测量系统的参考镜，定义为SLM参考镜。本发明还公开利用非球面干涉测量系统实现的测量方法。本发明公开要解决的技术问题为：产生与部分补偿后的非球面波前相等的非平面波前，实现零干涉测量，在继承部分补偿法对补偿器设计制造精度要求低的优点的同时，保留零补偿干涉测量法精度高的优点，此外还能够避免传统干涉测量系统中机械移相误差的引入。