氧等离子体局部增强WS₂/RGO材料、其制备以及电催化产氢器件及其制备方法

摘要

本发明涉及一种氧等离子体局部增强WS₂/RGO材料的电催化产氢器件及其制备方法，采用一步水热法在氧化还原石墨烯上负载二硫化钨，再将其分散到带有氧化层的硅基板上；旋涂一层光刻胶，并用电子束刻蚀的方法在纳米片特定位置刻蚀出矩形窗口，使纳米片部分暴露；利用不同功率的氧等离子体对上述产品进行处理。然后利用溶剂去除表面光刻胶，得到部分氧等离子体处理的纳米片材料，再将该纳米片组装成微纳器件。本发明的有益效果是：利用氧等离子体在WS₂表面制造更多的催化活性位点，并利用单片纳米器件的特殊优势，结合拉曼等手段实现对纳米片处理前后和反应前后的表面状态、物性等进行原位探测，实现对反应机理和优化机制的探索和研究。