用于迭代缺陷分类的方法及系统

摘要

缺陷分类包含：获取包含多个缺陷的样本的一或多个图像；基于所述缺陷的属性将所述缺陷分组成缺陷类型群组；从用户接口装置接收指示来自所述群组的选定数目个缺陷的第一手动分类的信号；基于所述第一手动分类及所述缺陷的所述属性产生分类器；使用所述分类器对未由所述手动分类手动分类的一或多个缺陷分类；识别由所述分类器分类的具有最低置信度的所述缺陷；从所述用户接口装置接收指示具有所述最低置信度的所述缺陷的额外手动分类的信号；确定所述额外手动分类是否识别在所述第一手动分类中未识别的一或多个额外缺陷类型；及迭代过程直到未发现新缺陷类型。