混合研磨剂抛光组合物及其使用方法

摘要

本发明提供一种抛光组合物，其包含(i)一种研磨剂，其包含(a)5至45重量%莫氏硬度为8或更大的第一研磨剂粒子，(b)1至45重量%具有含有较小初级粒子聚集体的三维结构的第二研磨剂粒子，及(c)10至90重量%包含硅石的第三研磨剂粒子，和(ii)液体载体。本发明还提供一种抛光基板的方法，该方法包含(i)提供上述抛光组合物，(ii)提供具有表面的基板，并(iii)以该抛光组合物研磨至少一部分基板表面以抛光该基板等步骤。